大气压

70~106Kpa

工作台面中心振动静位移μm(rms)

4.1

主过滤器类别

ULPA

人员保护

2.1*100000

主过滤器效率

99.9995%@0.12μm

下降气流速度(m/s）

0.28

流入气流速度(m/s）

0.55

外排风量（m3/h）

440

频率

50Hz±1Hz

工作室内表面材质

SUS304

重量（Kg）

258

脚轮

有

柜内插座配置（防溅插座个数）

1个防溅插座

固定底脚

可调高度75mm，无裸露螺纹

过滤器阻塞报警

有

过滤器破损报警

有

前窗玻璃防紫外线

有